M02000 - SEMI M20 - ウェーハ座標システムの確立の作業方法 Revision:SEMI M20-1104 - Superseded 本ガイドでは，一連のオプションや説明事項を通して，エネルギー，ユーティリティ，および材料の保全のために利用できる技術についてユーザの知識向上を図る。ユーティリティと材料の使用測定のための，あるいは使用測定を等価エネルギーに換算するための特定の実行手順を提案する。

本ガイドでは，一連のオプションや説明事項を通して，エネルギー，ユーティリティ，および材料の保全のために利用できる技術についてユーザの知識向上を図る。ユーティリティと材料の使用測定のための，あるいは使用測定を等価エネルギーに換算するための特定の実行手順を提案する。

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SEMI F49-0200 (first published)

SEMI PV63-0215 (first published)

Referenced SEMI Standards SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)

M02000 - SEMI M20 - ウェーハ座標システムの確立の作業方法 Revision:SEMI M20-1104 - Superseded 本ガイドでは，一連のオプションや説明事項を通して，エネルギー，ユーティリティ，および材料の保全のために利用できる技術についてユーザの知識向上を図る。ユーティリティと材料の使用測定のための，あるいは使用測定を等価エネルギーに換算するための特定の実行手順を提案する。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI x y xyrq zzx y zr q z x yr q 1 x y z r q z Referenced SEMI Standards (purchase separately) SEMI E5 Specification for SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS II) SEMI M1 Specification for Polished Single Crystal