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and notation for describing behavior and data in terms of objects and object attributes
古い仕様は，ウェーハ表面の目視検査を基準としているが，技術の進歩にともなって，多くの表面の検査対象欠陥サイズが目視検査で行うには小さすぎるようになってきている。このため，（目視検査に変わる）別のやり方の表面検査が必要になってきている。
evaluating utility system enhancements
本ガイドの主な焦点は，半導体デバイスの製造に使用される半導体製造装置であるが，本ガイドは，関連製品（例えば，液晶やMEMS）の製造に使用される装置に適用される場合もある。
本暫定仕様は，global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2006年11月21日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2007年2月にwww
E06700 - SEMI E67 - マスフローコントローラの信頼性測定のためのテスト方法 Revision:SEMI E67-1011 - Superseded and notation for describing behaviorglobal Gases Technical Committee2011912global Audits and Reviews Subcommittee201110www. semiviews. org www. semi. org1997920043 : 2011 MFC mass flow controllerMFC Referenced SEMI Standards SEMI E17 Guideline for Mass Flow Controller Transient Characteristics Tests SEMI E66 Test Method for Determining Particle Contribution by Mass Flow Controllers SEMI E69 Test Method for Determining Reproducibility and Zero Drift for Thermal Mass Flow
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