D05100 - SEMI D51 - Specification for Handshake Method of Single Substrate for Handling Off/On Tool in FPD Production Revision:SEMI D51-0709 - Inactive 自動搬送用は，ウェーハキャリアと自動ウェーハプロセス装置のインタフェースの使用上の要求事項を満たすものである。自動搬送用は125 mmウェーハサイズを対象としている。

自動搬送用は，ウェーハキャリアと自動ウェーハプロセス装置のインタフェースの使用上の要求事項を満たすものである。自動搬送用は125 mmウェーハサイズを対象としている。

The purpose of this Guide is to minimize the negative impact on productivity caused by static charge and electric fields in semiconductor manufacturing equipment

Peel strength of protective film from leadframe tape (see SEMI G75

• type of PSL (reference material)

This test method uses SI units

D05100 - SEMI D51 - Specification for Handshake Method of Single Substrate for Handling Off/On Tool in FPD Production Revision:SEMI D51-0709 - Inactive 自動搬送用は，ウェーハキャリアと自動ウェーハプロセス装置のインタフェースの使用上の要求事項を満たすものである。自動搬送用は125 mmウェーハサイズを対象としている。This standard was technically approved by the global Flat Panel Display Factory Automation Committee. This edition was approved for publication by the global Audits & Reviews Subcommittee on May 13, 2009. It was available at www. semi. org in June 2009. Originally published March 2008. Due to the migration to large substrate sizes in FPD production, the demand for single substrate transfer, with the extensive combined use of Automated Material